面向MMIC的宽温高精度混合可扩展MIM电容模型

研究针对MMIC传统PDK缺乏宽温、宽频段稳健电容模型的问题，提出带接地电感的π型等效电路，S参数拟合误差低于2%，并解释了器件的热谐振漂移。在此基础上构建物理引导核心与神经网络补偿相结合的混合可扩展模型，参数拟合R²高于0.999，最终模型在整个温度与几何空间内对实测数据的S参数预测R²大于0.98。作者称该工作为恶劣工况下的稳健电路设计提供了高精度可扩展MIM电容模型，其混合方法可推广到其他无源器件。